| 1. Identificação | |
| Tipo de Referência | Artigo em Evento (Conference Proceedings) |
| Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
| Site | mtc-m16b.sid.inpe.br (namespace prefix: upn:K28A8B) |
| Identificador | 6qtX3pFwXQZGivnK2Y/Sn8e3 |
| Repositório | sid.inpe.br/mtc-m17@80/2007/12.05.14.10 |
| Última Atualização | 2015:05.19.18.57.53 (UTC) marciana |
| Repositório de Metadados | sid.inpe.br/mtc-m17@80/2007/12.05.14.10.33 |
| Última Atualização dos Metadados | 2018:06.05.03.35.59 (UTC) administrator |
| Chave Secundária | INPE--PRE/ |
| Chave de Citação | OliveiraUedaRossMore:2007:PlImIo |
| Título | Plasma Immersion Ion Implantation with Lithium Ions  |
| Ano | 2007 |
| Data de Acesso | 24 out. 2026 |
| Tipo Secundário | PRE CI |
| Número de Arquivos | 1 |
| Tamanho | 381 KiB |
| 2. Contextualização | |
| Autor | 1 Oliveira, Rogerio Moraes 2 Ueda, Mário 3 Rossi, José Oswaldo 4 Moreno, B. D. L. |
| Grupo | 1 LAP-INPE-MCT-BR 2 LAP-INPE-MCT-BR 3 LAP-INPE-MCT-BR 4 LAS-INPE-MCT-BR |
| Afiliação | 1 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 4 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) |
| Endereço de e-Mail do Autor | 1 rogerio@plasma.inpe.br 2 ueda@plasma.inpe.br 3 rossi@plasma.inpe.br |
| Nome do Evento | IEEE Pulsed Power and Plasma Science Conference. |
| Localização do Evento | Albuquerque, New Mexico |
| Data | 17-22 June |
| Título do Livro | Proceedings |
| Tipo Terciário | Oral Session |
| Acervo Hospedeiro | lcp.inpe.br/ignes/2004/02.12.18.39 upn:LNRMAL cptec.inpe.br/walmeida/2003/04.25.17.12 upn:K28A8B |
| Histórico (UTC) | 2007-12-05 14:10:33 :: simone -> administrator :: 2012-10-24 00:07:45 :: administrator -> simone :: 2013-02-20 15:20:10 :: simone -> administrator :: 2007 2015-03-27 14:46:36 :: administrator -> marciana :: 2007 2015-05-19 18:57:53 :: marciana -> administrator :: 2007 2018-06-05 03:35:59 :: administrator -> marciana :: 2007 |
| 3. Conteúdo e estrutura | |
| É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
| Estágio do Conteúdo | concluido |
| Transferível | 1 |
| Tipo do Conteúdo | External Contribution |
| Tipo de Versão | publisher |
| Resumo | A new method was developed with the aim to creating plasma of lithium for plasma immersion ion implantation. First an argon glow discharge with operation pressure ranging from 2 x 10-2 mbar to 1 mbar is generated by negatively polarizing an electrode from 400 V to 1500 V. Small pieces of metallic lithium, 99.9% pure; fill the top of a conic crucible, with 2 cm depth, in electric contact with the electrode. Argon ions from the plasma are used to bombard this target where heat is created by the momentum transfer between the impacting ions and the crucible. By controlling the operation pressure and the electrode voltage polarization it is possible to easily heat the crucible to temperatures above the lithium melting point (180 0C), causing its evaporation. Lithium atoms are then ionized due to collisions with plasma particles. Double Langmuir probe measurements indicated variation on the density of the discharge from 4×109 cm-3 to 1010 cm-3, after lithium evaporation. Silicon wafer pieces immersed into this mixed plasma were submitted to repetitive negative high voltage pulses (3 kV/6 μs/3 kHz), in order to attract plasma ions. High resolution X-Ray diffraction performed in these samples revealed the presence of high strain on the analyzed layers, in comparison. |
| Área | FISPLASMA |
| Arranjo 1 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAS > Plasma Immersion Ion... |
| Arranjo 2 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAP > Plasma Immersion Ion... |
| Conteúdo da Pasta doc | acessar |
| Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
| Conteúdo da Pasta agreement | não têm arquivos |
| 4. Condições de acesso e uso | |
| URI dos dados | upn:LNRMAL:6qtX3pFwXQZGivnK2Y/Sn8e3 |
| URL dos dados | http://urlib.net/ibi/6qtX3pFwXQZGivnK2Y/Sn8e3 |
| URL dos dados zipados | http://urlib.net/zip/6qtX3pFwXQZGivnK2Y/Sn8e3 |
| Idioma | en |
| Arquivo Alvo | oliveira_plasma.pdf |
| Grupo de Usuários | administrator marciana simone |
| Grupo de Leitores | administrator marciana |
| Visibilidade | shown |
| Permissão de Leitura | allow from all |
| Permissão de Atualização | não transferida |
| 5. Fontes relacionadas | |
| Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ESR3H2 8JMKD3MGPCW/3ET2RFS |
| Lista de Itens Citando | sid.inpe.br/bibdigital/2013/09.25.21.49 - 53 sid.inpe.br/bibdigital/2013/09.24.19.30 - 22 sid.inpe.br/bibdigital@80/2006/04.07.15.50.13 - 8 sid.inpe.br/bibdigital@80/2006/12.20.14.49 - 1 |
| 6. Notas | |
| Campos Vazios | archivingpolicy archivist callnumber copyholder copyright creatorhistory descriptionlevel dissemination doi e-mailaddress edition editor format isbn issn keywords label lineage mark mirrorrepository nextedition notes numberofvolumes orcid organization pages parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project publisher publisheraddress resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark serieseditor session shorttitle sponsor subject tertiarymark type url volume |
| 7. Controle da descrição | |
| e-Mail (login) | marciana |
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