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1. Identificação
Tipo de ReferênciaArtigo em Revista Científica (Journal Article)
Sitemtc-m16b.sid.inpe.br
Código do Detentorisadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S
Identificador6qtX3pFwXQZGivnK2Y/NnMP3
Repositóriosid.inpe.br/mtc-m17@80/2006/12.06.13.07   (acesso restrito)
Última Atualização2006:12.06.13.07.39 (UTC) administrator
Repositório de Metadadossid.inpe.br/mtc-m17@80/2006/12.06.13.07.40
Última Atualização dos Metadados2018:06.05.03.44.17 (UTC) administrator
Chave SecundáriaINPE-14414-PRE/9498
ISSN0169-4332
Chave de CitaçãoChiaramonteAbrFabCar:2006:XrMuDi
TítuloX-ray multiple diffraction in the characterization of TiNO and TiO2 thin films grown on Si(0 0 1)
Ano2006
MêsNov.
Data de Acesso03 maio 2024
Tipo SecundárioPRE PI
Número de Arquivos1
Tamanho321 KiB
2. Contextualização
Autor1 Chiaramonte, T.
2 Abramof, Eduardo
3 Fabreguette, F.
4 Sacilotti
5 Cardoso, L. P.
Identificador de Curriculo1
2 8JMKD3MGP5W/3C9JGUH
Grupo1
2 LAS-INPE-MCT-BR
Afiliação1 IFGW, UNICAMP
2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
3 Thin Films and Nanostructure Group, Universite de Bourgogne
4 Thin Films and Nanostructure Group, Universite de Bourgogne
5 Thin Films and Nanostructure Group, Universite de Bourgogne
RevistaApplied Surface Science
Volume253
Número3
Páginas1590-1594
Histórico (UTC)2006-12-06 13:07:40 :: simone -> administrator ::
2012-11-24 01:39:32 :: administrator -> simone :: 2006
2013-02-20 15:19:54 :: simone -> administrator :: 2006
2018-06-05 03:44:17 :: administrator -> marciana :: 2006
3. Conteúdo e estrutura
É a matriz ou uma cópia?é a matriz
Estágio do Conteúdoconcluido
Transferível1
Tipo do ConteúdoExternal Contribution
Palavras-ChaveTiO2
TiNO
MOCVD
Thin film
X-ray multiple diffraction
Renninger scan
ResumoTiO2 and TiNxOy thin films grown by low pressure metal-organic chemical vapor deposition (LP-MOCVD) on top of Si(0 0 1) substrate were characterized by X-ray multiple diffraction. X-ray reflectivity analysis of TiO2[1 1 0] and TiNO[1 0 0] polycrystalline layers allowed to determine the growth rate (−80 Å/min) of TiO2 and (−40 Å/min) of TiNO films. X-ray multiple diffraction through the Renninger scans, i.e., -scans for (0 0 2)Si substrate primary reflection is used as a non-conventional method to obtain the substrate lattice parameter distortion due to the thin film conventional deposition, from where the information on film strain type is obtained.
ÁreaFISMAT
ArranjoX-ray multiple diffraction...
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Conteúdo da Pasta sourcenão têm arquivos
Conteúdo da Pasta agreementnão têm arquivos
4. Condições de acesso e uso
Idiomaen
Arquivo AlvoX ray multiple difrraction.pdf
Grupo de Usuáriosadministrator
simone
Visibilidadeshown
Detentor da CópiaSID/SCD
Política de Arquivamentodenypublisher denyfinaldraft24
Permissão de Leituradeny from all and allow from 150.163
5. Fontes relacionadas
Unidades Imediatamente Superiores8JMKD3MGPCW/3ESR3H2
DivulgaçãoWEBSCI; PORTALCAPES; COMPENDEX.
Acervo Hospedeirolcp.inpe.br/ignes/2004/02.12.18.39
cptec.inpe.br/walmeida/2003/04.25.17.12
6. Notas
Campos Vaziosalternatejournal archivist callnumber copyright creatorhistory descriptionlevel documentstage doi e-mailaddress electronicmailaddress format isbn label lineage mark mirrorrepository nextedition notes orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project readergroup rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype typeofwork url versiontype
7. Controle da descrição
e-Mail (login)marciana
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