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1. Identificação
Tipo de ReferênciaTese ou Dissertação (Thesis)
Sitemtc-m16b.sid.inpe.br
Código do Detentorisadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S
Identificador6qtX3pFwXQZGivnJSY/N64cG
Repositóriosid.inpe.br/MTC-m13@80/2006/11.07.14.09
Última Atualização2021:06.01.21.17.07 (UTC) sergio
Repositório de Metadadossid.inpe.br/MTC-m13@80/2006/11.07.14.09.41
Última Atualização dos Metadados2021:06.01.21.18.06 (UTC) sergio
Chave SecundáriaINPE-14606-TDI/1186
Chave de CitaçãoPaes:2006:SiTrEl
TítuloSimulação de transientes elétricos durante processos de solda anódica
Título AlternativoNumerical simulation of oxide layer growth during anodic bonding
CursoCAP-SPG-INPE-MCT-BR
Ano2006
Data2006-10-19
Data de Acesso26 dez. 2024
Tipo da TeseDissertação (Mestrado em Computação Aplicada)
Tipo SecundárioTDI
Número de Páginas95
Número de Arquivos291
Tamanho9146 KiB
2. Contextualização
AutorPaes, Fabiana Ferreira
GrupoCAP-SPG-INPE-MCT-BR
Endereço de e-Mail do Autorfabiana.paes@gmail.com
BancaRamos, Fernando Manuel (presidente)
Fabbri, Maurício (orientador)
Senna, José Roberto Sbragia
Moro, João Roberto
UniversidadeInstituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
CidadeSão José dos Campos
Histórico (UTC)2007-09-06 12:58:03 :: jefferson -> administrator ::
2008-09-05 21:50:15 :: administrator -> jefferson ::
2009-06-16 18:35:58 :: jefferson -> administrator ::
2009-07-07 20:08:54 :: administrator -> jefferson ::
2009-11-05 14:57:28 :: jefferson -> alessandra@sid.inpe.br ::
2010-01-11 19:24:25 :: alessandra@sid.inpe.br -> administrator ::
2018-06-05 03:43:24 :: administrator -> viveca@sid.inpe.br :: 2006
2019-02-07 13:02:24 :: viveca@sid.inpe.br -> sergio :: 2006
2020-07-08 13:50:26 :: sergio -> simone :: 2006
2021-06-01 18:31:05 :: simone -> sergio :: 2006
3. Conteúdo e estrutura
É a matriz ou uma cópia?é a matriz
Estágio do Conteúdoconcluido
Transferível1
Palavras-Chavesolda anódica
solda eletrostática
camada de depleção
condições de contorno
método das diferenças finitas
computer science
anodic debonding
electrostatic bonding
depletion
boundary conditions
finite diference theory
ResumoEste presente trabalho descreve um processo de discretização numérica da equação não linear do transporte iônico que rege a camada de depleção para o crescimento do óxido de silício durante a solda eletrostática (solda anódica) silício-vidro (Si-G) na ausência do transporte difusivo com evolução no tempo. A equação da continuidade é resolvida usando uma discretização em diferenças finitas com fronteira móvel, que toma espécies distintas de ânions e cátions no interior do vidro. O oxigênio que alimenta a matriz do silício, também é modelado por uma suposição conveniente sobre a continuidade da carga e sua mobilidade. A partir da suposição que o oxigênio necessário para a solda é suprido da camada de depleção no vidro, os resultados da espessura do óxido de silício aproximaram-se razoavelmente dos valores observados nos processos práticos de soldas. O esquema numérico emprega mobilidades independentes no interior do vidro e do óxido, e pode tratar modelos não-lineares para o campo elétrico. ABSTRACT: The present work describes a stable numeric discretization of the ionic non-linear transport equations that governs the depletion layer dynamics for oxide growth during electrostatic bonding (anodic bonding) glass-silicon, in the absence of carrier diffusion. The continuity equation is solved by a moving-boundary stable finite-difference discretization, which takes into account distinct anion and cation species within the glass. Oxygen feeding into the silicon matrix is also modeled by suitable conditions on charge continuity and mobility drift. On the assumption that the oxygen required for bonding is supplied from the depleted glass layer, the resulting oxide thickness agrees to the values which are observed in practical bonding procedures. The numerical scheme allows for independent mobilities in the glass and oxide regions, and can handle high non-linear models for electric field.
ÁreaCOMP
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5. Fontes relacionadas
Unidades Imediatamente Superiores8JMKD3MGPCW/3F2PHGS
Lista de Itens Citandosid.inpe.br/bibdigital/2013/10.12.22.16 3
DivulgaçãoNTRSNASA; BNDEPOSITOLEGAL.
Acervo Hospedeirocptec.inpe.br/walmeida/2003/04.25.17.12
6. Notas
Campos Vaziosacademicdepartment affiliation archivingpolicy archivist callnumber contenttype creatorhistory descriptionlevel doi e-mailaddress format isbn issn label lineage mark mirrorrepository nextedition notes number orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress readergroup resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype url versiontype
7. Controle da descrição
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